Wytwarzanie i właściwości warstw Me-C:H na stopach aluminium / Andrzej Czyżniewski, Witold Precht.
Rodzaj materiału:
ArtykułTematy:
W: Elektronika. - R. 39, 1998, nr 5, s. 15-19Streszczenie: Przedstawiono wyniki badań właściwości warstw Me-C:H (Me-Ti, Cr, W) wytwarzanych na stopach aluminium metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego (RMS). Do kontroli procesów wytwarzania warstw zastosowano optyczną spektroskopię emisyjną. Wyniki badań właściwości (mikrotwardości, adhezji, współczynnika tarcia) warstw wytworzonych oraz wyniki testów złączy rozbieralnych typów ConFlat wykonanych ze stopów PA6 z pokrytymi ostrzałami wskazują, że wastwy Ti-C:H i Cr-C:H mogą być wykorzystywane do pokrywania elementów alumioniowej aparatury wysokiej i ultrawysokiej próżni.
| Typ dokumentu | Obecna biblioteka | Sygnatura | Status | Termin zwrotu | Kod kreskowy | |
|---|---|---|---|---|---|---|
Artykuł
|
Bibliografia Prac Pracowników - BPK | 0674 (Przeglądaj półkę(Otwórz poniżej)) | Nie można wypożyczyć |
Dane z autopsji.
Przedstawiono wyniki badań właściwości warstw Me-C:H (Me-Ti, Cr, W) wytwarzanych na stopach aluminium metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego (RMS). Do kontroli procesów wytwarzania warstw zastosowano optyczną spektroskopię emisyjną. Wyniki badań właściwości (mikrotwardości, adhezji, współczynnika tarcia) warstw wytworzonych oraz wyniki testów złączy rozbieralnych typów ConFlat wykonanych ze stopów PA6 z pokrytymi ostrzałami wskazują, że wastwy Ti-C:H i Cr-C:H mogą być wykorzystywane do pokrywania elementów alumioniowej aparatury wysokiej i ultrawysokiej próżni.
