An analysis of macroparticle-related defects in the CrCN and CrN coatings in dependence on the substrate bias voltage / Adam Gilewicz, Zbigniew Kukliński, Jerzy Ratajski, Jarosław Rochowicz, Bogdan Warcholiński.
Rodzaj materiału:
ArtykułJęzyk: angielski
W: Vacuum. - 2012, nr 86(9), s. 1235-1239
Brak egzemplarzy dla tego rekordu
