Nadprzewodzące warstwy TiN wytworzone metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego /
STAŚKIEWICZ, Jan. Wyższa Szkoła Inżynierska w Koszalinie - Wydział Mechaniczny, Środowiskowe Laboratorium Techniki Próżniowej 1973 - 1996.
Nadprzewodzące warstwy TiN wytworzone metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego / J. Staśkiewicz, A. Czyżniewski, W. Gulbiński, Cz. Szypowski.
Superconducting TiN thin films prepared by D.C. reactive magnetron sputtering
Dane z autopsji.
W pracy przedstawiono wyniki pomiarów temperatury przejścia w stan nadprzewodzący (temperatury krytycznej Tc) cienkich warstw azotku tytanu - TiN - otrzymanych metodą stałoprądowego reaktywnego rozpylania magnetronowego. Szczegółowo opisano system i procesy technologiczne. Określono także wpływ stechiometrii warstw na inne niż Tc parametry fizyczne warstw takie jak: mikrotwardość, odporność właściwa i współczynnik odbicia.
Rozpylanie.
Inżynieria powierzchni
Materiały konferencyjne.
621.791/.795
Nadprzewodzące warstwy TiN wytworzone metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego / J. Staśkiewicz, A. Czyżniewski, W. Gulbiński, Cz. Szypowski.
Superconducting TiN thin films prepared by D.C. reactive magnetron sputtering
Dane z autopsji.
W pracy przedstawiono wyniki pomiarów temperatury przejścia w stan nadprzewodzący (temperatury krytycznej Tc) cienkich warstw azotku tytanu - TiN - otrzymanych metodą stałoprądowego reaktywnego rozpylania magnetronowego. Szczegółowo opisano system i procesy technologiczne. Określono także wpływ stechiometrii warstw na inne niż Tc parametry fizyczne warstw takie jak: mikrotwardość, odporność właściwa i współczynnik odbicia.
Rozpylanie.
Inżynieria powierzchni
Materiały konferencyjne.
621.791/.795