TY  - GEN
AU  - STAŚKIEWICZ,Jan, Wyższa Szkoła Inżynierska w Koszalinie - Wydział Mechaniczny
AU  - CZYŻNIEWSKI,Andrzej, Wyższa Szkoła Inżynierska w Koszalinie - Wydział Mechaniczny
AU  - GULBIŃSKI,Witold, Wyższa Szkoła Inżynierska w Koszalinie - Wydział Mechaniczny
AU  - SZYPOWSKI,Czesław, Wyższa Szkoła Inżynierska w Koszalinie - Wydział Mechaniczny
ED  - Szkoła Mielno'92
TI  - Nadprzewodzące warstwy TiN wytworzone metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego
KW  - Rozpylanie
KW  - Inżynieria powierzchni
KW  - Materiały konferencyjne
N1  - Dane z  autopsji
N2  - W pracy przedstawiono wyniki pomiarów temperatury przejścia w stan nadprzewodzący (temperatury krytycznej Tc) cienkich warstw azotku tytanu - TiN - otrzymanych metodą stałoprądowego reaktywnego rozpylania magnetronowego. Szczegółowo opisano system i procesy technologiczne. Określono także wpływ stechiometrii warstw na inne niż Tc parametry fizyczne warstw takie jak: mikrotwardość, odporność właściwa i współczynnik odbicia
ER  -