<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<mods xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns="http://www.loc.gov/mods/v3" version="3.1" xsi:schemaLocation="http://www.loc.gov/mods/v3 http://www.loc.gov/standards/mods/v3/mods-3-1.xsd">
  <titleInfo>
    <title>Zastosowanie optycznej spektroskopii emisyjnej do kontroli procesu magnetronowego nanoszenia cienkich warstw TiN</title>
  </titleInfo>
  <name type="personal">
    <namePart>GULBIŃSKI, Witold.</namePart>
    <namePart type="termsOfAddress">Politechnika Koszalińska - Wydział Mechaniczny, Katedra Fizyki</namePart>
    <namePart type="date">1996 -</namePart>
    <role>
      <roleTerm authority="marcrelator" type="text">creator</roleTerm>
    </role>
  </name>
  <name type="personal">
    <namePart>KAZIMIEROWICZ, Ryszard.</namePart>
    <namePart type="termsOfAddress">Politechnika Koszalińska - Wydział Mechaniczny, Katedra Fizyki</namePart>
  </name>
  <name type="personal">
    <namePart>STAŚKIEWICZ, Jan.</namePart>
    <namePart type="termsOfAddress">Politechnika Koszalińska - Wydział Mechaniczny, Katedra Fizyki</namePart>
    <namePart type="date">1973 -</namePart>
  </name>
  <name type="personal">
    <namePart>WARCHOLIŃSKI, Bogdan.</namePart>
    <namePart type="termsOfAddress">Politechnika Koszalińska - Wydział Mechaniczny, Katedra Fizyki</namePart>
    <namePart type="date">1996 -</namePart>
  </name>
  <name type="conference">
    <namePart>Szkoła Letnia Mielno'98 1998 ; Mielno, Polska).</namePart>
  </name>
  <typeOfResource>text</typeOfResource>
  <genre authority="marc">conference publication</genre>
  <genre authority="">Materiały konferencyjne.</genre>
  <originInfo>
    <place>
      <placeTerm type="code" authority="marccountry">Pl</placeTerm>
    </place>
    <issuance>monographic</issuance>
  </originInfo>
  <language>
    <languageTerm authority="iso639-2b" type="code">pol</languageTerm>
  </language>
  <physicalDescription>
    <form authority="marcform">print</form>
  </physicalDescription>
  <note type="statement of responsibility">W. Gulbiński, R. Kazimierowicz, J. Staśkiewicz, B. Warcholiński.</note>
  <subject authority="lcsh">
    <topic>Spektroskopia</topic>
  </subject>
  <relatedItem type="host" displayLabel="W :">
    <titleInfo>
      <title>10 th International Summer School, Modern Plasma and Surface Technology. -</title>
    </titleInfo>
    <part>
      <text>1998, s. 185-190</text>
    </part>
  </relatedItem>
  <recordInfo>
    <recordContentSource authority="marcorg"/>
    <recordCreationDate encoding="marc">170315</recordCreationDate>
    <recordChangeDate encoding="iso8601">20180502102212.0</recordChangeDate>
    <recordIdentifier source="KOSZ 005">8063</recordIdentifier>
  </recordInfo>
</mods>
