000 02141naa a2200301 i 4500
001 5866
003 KOSZ 005
005 20190610114324.0
008 140430s1993 pl f |100 0 eng
040 _cBPK
_dKOSZ 005/EG
041 _aeng
_bpol
044 _aPOL
080 _a621.791/.795
100 1 _aSTAŚKIEWICZ, Jan.
_d1973 - 1996.
_bWyższa Szkoła Inżynierska w Koszalinie - Wydział Mechaniczny,
_cŚrodowiskowe Laboratorium Techniki Próżniowej
245 1 0 _aNadprzewodzące warstwy TiN wytworzone metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego /
_cJ. Staśkiewicz, A. Czyżniewski, W. Gulbiński, Cz. Szypowski.
246 3 1 _aSuperconducting TiN thin films prepared by D.C. reactive magnetron sputtering
500 _aDane z autopsji.
520 _aW pracy przedstawiono wyniki pomiarów temperatury przejścia w stan nadprzewodzący (temperatury krytycznej Tc) cienkich warstw azotku tytanu - TiN - otrzymanych metodą stałoprądowego reaktywnego rozpylania magnetronowego. Szczegółowo opisano system i procesy technologiczne. Określono także wpływ stechiometrii warstw na inne niż Tc parametry fizyczne warstw takie jak: mikrotwardość, odporność właściwa i współczynnik odbicia.
650 0 _aRozpylanie.
655 0 _aMateriały konferencyjne.
650 0 _aInżynieria powierzchni
700 1 _aCZYŻNIEWSKI, Andrzej.
_d1975 - 1996.
_bWyższa Szkoła Inżynierska w Koszalinie - Wydział Mechaniczny,
_cKatedra Inżynierii Materiałowej
700 1 _aGULBIŃSKI, Witold.
_d1975 - 1996.
_bWyższa Szkoła Inżynierska w Koszalinie - Wydział Mechaniczny,
_cŚrodowiskowe Laboratorium Techniki Próżniowej
700 1 _aSZYPOWSKI, Czesław.
_d1974 - 1993.
_bWyższa Szkoła Inżynierska w Koszalinie - Wydział Mechaniczny,
_cŚrodowiskowe Laboratorium Techniki Próżniowej
711 2 2 _aSzkoła Mielno'92
_n(3 ;
_d1992 ;
_cMielno, Polska).
_pSzkoła Mielno'92
773 0 _iW :
_tNowoczesne technologie próżniowe : 3 Szkoła Mielno'92, 26-28 listopada 1992 r. / red. nauk. Witold Precht. -
_dKoszalin : Wydaw. Uczelniane WSI, 1993. -
_gs. 121-137
942 _cROZ
_2UKD
999 _c5866
_d5866